濾能AMC微污染防治裝置成無塵室標配 在國內先進製程市場打下半壁江山

產業脈動

「台灣半導體業發展20年,從2002年130奈米製程,每2年半導體線寬線徑縮小1/3,2016年進入10奈米製程,這2年討論的是5奈米、3奈米甚至2奈米。為何先進製程如此重視AMC(氣態分子汙染物)防治?因為氣體分子污染物充斥在無塵室裏,只要5-17個氣體分子沉積,就會占滿5奈米線寬。」半導體先進製程AMC防治專業廠商濾能總經理黃氣寶解釋。

預計於6月下旬掛牌上櫃,濾能擁有AMC微污染控制的領先技術,防治裝置已成為無塵室標準配備,在國內10奈米以下先進製程市場占有率打下半壁江山,主要客戶為世界級半導體晶圓代工大廠。

避免影響良率,半導體廠投入大筆費用做AMC防治

董事長黃銘文出身知名半導體廠AMC污染防治計畫主持人,2014年創立濾能,他回憶,當時資本額只有300萬,必須很謹慎使用,一開始就成立產品研發中心,2018年就獲得環保認證。他說,污染物分為外在與內部,例如火力發電、汽機車都造成大環境污染,另一個是台灣半導體產業聚落明顯,科學園區都有排廢氣的產生。內部則是來自半導體製程中,本身就使用許多化學氣體輔助生產。

而先進製程對於AMC微污染十分敏感,晶圓缺陷一直是影響產品良率提昇的重要因素之一,當製程良率無法達到成熟穩定時,將嚴重延遲量產時間,造成巨大損失。因此半導體廠才會投入大筆費用做AMC防治。

8年內從新創公司成為無塵室標準配備

濾能的濾網與傳統濾網差別在哪裡?為何能在8年內從新創公司成為無塵室標準配備?黃銘文解釋,傳統濾網是三個不同功能的濾網組成一組,就像一個黑盒子一樣,裡面的東西不能拆,一個不能用就必須整個盒子丟了,體積重達20-30公斤。濾能則是把金屬框體放在天花板,其中裝有數片濾網,能輕易的把其中要更換的濾網抽出來,把新的換上去就好,

平均下來,一個廠天花板約有1萬5千組,一組可能掛3、4片濾網,建置在每個風扇單元的上面。更換的頻率就看製程,快的話甚至2、3天就必須換一次,因為先進製程能容許的氣體分子數量很少,必須透過大量更換來維持現場環境濃度。尤其現在無塵室已經進步到建置很多污染物感應器,更換頻率是以現場環境濃度有沒有超過標準,且這些感應器已經能判斷環境裡面是酸性鹼性、還是有機物質過多,可以輕易抽出更換不同濾網。目前濾能營收來自於新廠建置約占3成、替換濾網佔6成,安裝等服務費約1成。

全球先進製程競賽,驅動半導體廠積極擴建

濾能去年營收8.29億元,年增28.01%,成長主要來自客戶先進製程產能擴充帶動AMC污染防治產品需求所致,毛利率28.72%,稅後淨利0.97億元,EPS 5.46元。法人看好濾能今年營收可望挑戰10億元大關。

在先進製程技術持續推動下,台積電109年已將量產技術推進至5奈米製程技術,預估2022年啟動3奈米製程量產,並於2025年啟動2奈米製程量產。除了全球先進製程競賽驅動半導體廠積極擴建外,國際半導體產業協會報告指出,2021年全球半導體設備將有1030億美元市場,2022年更可望攀上1140億美元新高點,晶圓廠設備支出的部分也可望從2019年517億美元成長到2022年880億美元,濾能所提供之AMC防治產品需求也必然大幅提升。

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