美國遊說ASML禁售DUV設備給中國 台積電、聯電撿到槍 中芯國際剉著等

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中國習近平國家主席6月28日在湖北省武漢市考察時強調突破晶片「卡脖子」技術刻不容緩!華府彷彿聽到習主席呼喚一般,正在瞄準中共的「軟肋」下手。

美國與荷蘭政府官員合作,準備禁止ASML向中國公司出售所有DUV。如果美國遊說成功,這將嚴重打擊中芯國際等中國晶片商,中國半導體自給自足的雄心和「2025製造計劃」都將受到挫敗。

若對中國禁售DUV設備,中芯國際將受重創

深紫外光 (DUV) 微影設備是半導體製程不可缺的主要設備,荷商ASML、日本的Nikon、Canon是供應商,先進製程的EUV微影設備則是ASML獨家供應;外電報導,美國正遊說荷蘭、日本政府,要求禁售深紫外光 (DUV) 設備給中國。

據《彭博》7月6日報導,美國政界人士要求ASML不要向中國客戶銷售主流的深紫外光(DUV)。

華盛頓提議的限制措施將擴大到禁止出售最先進系統給中國,阻止中國成為世界最大晶片產國的計劃。如果荷蘭同意,這將大大拓寬目前禁止輸入中國的晶片設備範圍和類別,這可能中芯國際、華虹半導體等中國晶片製造商造成嚴重打擊。

說服荷蘭禁售DUV非易事

知情人士透露,在美國商務部副部長格雷夫斯(Don Graves)5月下旬和 6月初訪問荷蘭和比利時討論供應鏈問題期間,提出這一個問題。

由於討論是私下進行,這些知情人士要求不具名。在那次訪問行程當中,格雷夫斯還參觀ASML位於Veldhoven的總部,並會見執行長Peter Wennink。

DUV用於製造絕大多數用途廣泛的晶片,這些晶片為客戶端PC、伺服器、行動電子產品、自動駕駛汽車和機器人提供動力。

說服荷蘭政府禁止向中國客戶銷售所有光刻機,並非易事。2021年,中國廠商華虹、中芯國際、長江存儲或外國經片商台積電、三星和SK海力士在大陸經營的晶圓廠佔ASML收入(220.1億美元)的16%,相當於35.2億美元,這是一筆巨款。

中國晶圓廠占ASML收入約16%左右

如果禁止DUV賣給中國,ASML一年銷售額可能會少掉5%到10%。由於ASML的EUV早就不能賣給中國,一年收入已經沒有這部分,因此,與應用材料等美國同業相比,ASML受到的影響較小,美國半導體設備的25%-30%的收入來自中國。

知情人士說,荷蘭政府還沒有同意限制ASML的DUV賣給中國,因為這可能會損害荷蘭與中國的貿易關係。

荷蘭首相馬克.呂特6月曾表示,他反對重新考慮與中國的貿易關係,並呼籲歐盟制定自己的對中政策。中國是荷蘭僅次於德國和比利時的第3大貿易夥伴。

呂克今年稍早表示,ASML 反對禁止向中國客戶銷售DUV設備,因為它已經是一項成熟的技術。根據彭博彙編的公司披露和數據,國內或外國公司運營的中國晶圓廠佔 ASML 2021 年總收入的16%左右。

ASML的EUV已經不能賣給中國

由於無法從荷蘭政府獲得出口許可證,ASML已經無法將最先進的極紫外光刻機(每台成本約1.64 億美元)外銷中國。

如今,美國遊說DUV設備也不要賣給中國,ASML卻辯解,該公司不是世界上唯一的DUV掃描儀製造商(卻是最大的一家),日本佳能和尼康(Nikon)也提供類似的機器。

然而,如果美國成功阻止ASML設備賣給中國,其他公司無法很快取代ASML。此外,美國政界人士認為,現代晶片封裝技術進步,使中國公司能夠設計和生產相當複雜的晶片,從而推動中國的超級運算能力,最終大幅提升軍事技術。

華為遭禁售,海思差點倒閉

美國已經禁止幾家中國公司使用美國公司開發的技術,這幾乎導致華為的晶片設計部門海思倒閉。此外,禁止向中國銷售ASML的光刻機將重創當地半導體產業。

「中國在全球晶片設備市場的占比微不足道。」亞洲的欣里奇基金會研究員卡普里(Alex Capri)表示,他形容晶片生產是中國擴大半導體實力計劃的「瓶頸」。

老一代機器DUV的能力不如先進的EUV光刻設備,但DUV能夠製造目前嚴重短缺的許多類型晶片。知情人士說,華盛頓的重點是禁止銷售最先進的DUV技術,即浸沒式光刻機。

美國官員還試圖向日本施加壓力,要求東京官員停止向中國晶片製造商提供相同的技術,日本尼康在半導體設備方面與ASML競爭。

ASML在2021年售出81台ArFi系統

浸沒式光刻也稱為氟化氬浸沒,或簡稱ArFi。根據中國方正證券的數據,ASML在2021年售出81台ArFi系統,而尼康售出4台,荷蘭公司ASML佔據95%的市場份額。

從這些數據可以得知,禁止中國公司使用 ASML 的掃描儀並不是美國挫敗中國本土晶片業的唯一途徑。晶圓廠使用由眾多美國公司生產的數百種工具,例如美商應用材料、KLA和Lam Research。禁止這些美商與中國合作,將對全世界半導體產業產生毀滅性的影響。

此外,出於國家安全考慮,美商有些設備不能賣給中國。但是,讓中國的公司沒有半導體工具將影響世界其他地區。

例如,很大一部分DRAM和3D NAND記憶體晶片廠都設在中國。如果三星、SK 海力士和長江存儲等晶片廠商沒有ASML設備,將影響全球晶片和電子產品供應鏈。

此外,台積電、中芯國際、華虹為國際客戶生產大量的晶片,如果他們都停止生產晶片,這也會影響到美國晶片設計公司。